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太赫茲波(Tera Hertz)頻譜是指頻率在0.1THz到10THz 範圍的電磁波，介於微波與紅外線之間，波長大概在30μm到3 mm範圍。

物質的太赫茲波光譜，反映分子間振動的情況，包含著非常豐富的物理和化學訊息，所以研究物質在該波段的光譜對於物質結構的探索具有重要意義。

太赫茲波和傳統光源相比，具有對黑體輻射不敏感，訊噪比遠高於傅利葉轉換紅外光譜技術…等很多獨特的性質，同時具有寬頻寬、測量靈敏度高、以及在室溫下穩定工作等優點。

太赫茲波為很低光子能量的電磁波，能量強度只有X射線的一百萬分之一，因此，不會引起有害生物組織的光電游離作用。

同時，太赫茲波可以通過許多常用的非極性電介質材料，如紙張，紙板，紡織品，塑料，木材，皮革和陶瓷，非常適合用於非侵入性和非破壞性​​檢測和成像技術。

因此，可測得電介質材料、半導體材料、生物大分子的振幅和相位的資訊，是一個應用範圍廣的新穎分析技術。
【註】1 THz=10¹²Hz=1000 GHz

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